毫厘之处,信息疾驰。信息时代,网络和移动通讯已成为生产、生活不可或缺的科技。集成电路在方寸之间架起数据传输的桥梁,是信息社会的基石。在2022世界集成电路大会上,集成电路产业又一次精彩亮相,300多家集成电路代表企业齐聚合肥滨湖国际会展中心,全面展示了集成电路全产业链最新的创新技术和应用成果。
芯片设计、制造、封装和测试是集成电路产业链的四大核心环节。在晶圆制造完成后,晶圆测试是一步非常重要的步骤。“晶圆测试是晶圆生产过程的成绩单。在晶圆制造过程中,要将有问题的晶粒找出来,再进行下一个制程,就可以最大程度提高晶圆的良率管控。这款全自动晶圆缺陷检测机结合AI技术,可对每个晶粒进行检测,每小时可检测60片以上,检测准确率可达99.95%以上。”在安徽睿微信息科技有限公司的展台前,该公司总经理单书畅向记者详细介绍着一款展品的用途和性能。

展品虽无声,科技感十足。在这场业界盛会上,展品覆盖从半导体材料设备到制造、封装、测试的全流程。由安徽睿微信息科技有限公司带来的这一款这全自动晶圆缺陷检测机FSI产品的首次亮相,就获得了业界的广泛关注。
设备是半导体产业链的关键环节,设备的精确度和可靠性将直接影响产品的生产良率。在以前,晶圆制造行业大多是采用人工检测,少数企业部署了工业相机、图像对比的传统机器视觉检测方式,视觉检测虽然相比起来有很大进步,但是受到产品自身质量波动、图像取像角度、亮度变化甚至环境因素的影响,检测准确率最高只能到90%左右。相比起来,睿微信息科技的99.95%的检测准确率意味着大幅减少了产品质量问题的几率,对晶圆生产企业的质量保证有了很大提升。
据了解,安徽睿微信息科技有限公司系视睿(杭州)信息科技有限公司全资子公司。作为国家级高新技术企业,视睿科技致力于成为国际先进的AI视觉方案提供者以及行业标杆企业。目前公司已与光电等泛半导体晶圆与封测行业的国内外龙头企业展开合作,产品涵盖晶圆类、miniLED类、封装固晶焊线类、封装点胶塑封类、支架和载板PCB类、3C产品类等一系列AI智检员产品,并不断为更多行业和客户提供最好的AI检测产品。
如何解决集成电路制造工艺中缺陷在线检测难题?当人工智能和制造业互相碰撞,会擦出什么样的火花?正如公司名称的寓意,带着睿智的视角,视睿科技基于深度学习等AI技术的图像识别与图像分类解决方案给出了答案。该方案应用于工业视觉领域的产品缺陷检测,目前已在半导体场景,尤其是光电行业的晶圆与封测场景中广泛落地。
2018年,视睿科技创始人兼CEO中科院计算所博士单书畅在联合创始人北京大学教授谢涛的鼓励和支持下,联合中科院软件所博士别晓辉,以及来自半导体制造业的朋友陈龙一起成立视睿科技。半导体行业该怎么做质检?单书畅他们想到了AI技术,希望利用AI算法,让质检设备持续学习,消除干扰和噪声,提高检测精准度。当年年底,团队第一款产品——AI智检员面世。2019年底,产品完成升级,AI智检员第二代投入应用。到2020年底,视睿科技服务客户达几十家。

2022世界集成电路大会上,视睿科技带来的FSI系列产品,晶圆检测尺寸可兼顾4inch、6inch、8inch;其检测精度最小可检测2个像素;检测准确率可达99.95%,漏检率低于0.01%。“此次带来的展品让不少集成电路产业的企业代表对我们公司的设备有所了解,纷纷到展台咨询,也让我们发掘了好几位新的合作伙伴。”该公司副总经理陈龙介绍,目前公司已有核心研发人员50余人,并建有自动化设备生产工厂。视睿科技通过自主研发积累了丰富的知识产权,已授权发明专利十余项,实审阶段专利几十项。
科技创新必定带来产业革命。AI赋能晶圆检测,在制造业中刮起了一阵革新风潮,让工业质检更具“慧”眼。旨在通过人工智能赋能半导体视觉检测,提供“视觉+算法+设备”的完整解决方案,视睿科技正致力于成为国内领先的半导体制造过程检测整体解决方案供应商。
将质检交给AI,扫描、拍摄、分析、比对……所有流程一气呵成,而且发挥稳定。AI智检员就像一位“有眼睛”“会思考”“越学越聪明”的工业视觉专家,对晶圆生产企业而言,这个“智检员”就像给检验员配了一个智能助理,大大提升了检测准确率。业内人士指出,对于晶圆在线检测来说,这是一个里程碑,标志着AI与制造产业的融合进入纵深。